吉致电子OX氧化层抛光液适用于4-12英寸氧化硅镀膜片的氧化层抛光液。JEEZ半导体抛光液性能优点:①使用纯度高的纳米抛光磨料,拥有高速率加工能力;②slurry粒径大小均匀因此能获得无缺陷的表面;③ 吉致Oxide slurry 易清洗无残留,对后续工艺影响小。
随着CMP材料国产化率快速提升,打破国外厂商对集成电路领域化学机械抛光液的垄断成为趋势,Kemet研磨液、科密特研磨液、科密特抛光液、BAIKOWSKI抛光、misupco抛光、HydroShine抛光、contact lens polish等实现进口替代。
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